技術(shù)編號:5102712
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及耐熱性優(yōu)越的。背景技術(shù) 以前,已知相對地配置作為振動板的膜片和駐極層(積蓄電荷的樹脂層)而構(gòu)成電容來作為振動檢測裝置的駐極體電容麥克風(fēng)。現(xiàn)有的駐極體電容麥克風(fēng)(以下簡稱為ECM)例如如特開2002-345087號公報所揭示的那樣,在形成作為帶電樹脂體的駐極層時,有以下的方式在作為檢測電極的金屬制的背面基板上形成樹脂層,對該樹脂層進(jìn)行帶電處理,由此形成駐極層的方式(參考該公報的圖3);在樹脂制或陶瓷制的背面基板上形成背面電極的膜(參考該公報的圖1)...
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