技術(shù)編號：5099410
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種固結(jié)磨料線鋸用水溶性加工液，具體而言,涉及通過固結(jié)磨料線鋸對硅晶圓進(jìn)行切割加工時(shí)使用的固結(jié)磨料線鋸用水溶性加工液。背景技術(shù)為了降低硅晶圓的生產(chǎn)成本，提升硅晶圓的切割加工技術(shù)變得尤為重要。硅晶圓的加工中，基于游離磨料方式的線鋸進(jìn)行的切割成為主流，但是該游離磨料方式的加工中存在以下各種問題。游離磨料方式被指出存在以下問題(I)由于使用將磨料分散在油劑中得到的漿液作為加工液，故游離磨料與切割碎屑的分離困難。(2)鋸絲運(yùn)行速度有限，加工效率的提升有限...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。