技術編號：5053079
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明整體上涉及微加工結構以及用于制作微加工結構的方法。本發(fā)明的實施例僅僅以示例的方式提供了用于制作用于執(zhí)行各種生物和化學分析的集成流體芯片的方法。 本文所述的方法和系統(tǒng)的范圍還可應用于調(diào)整流體流動中使用的流體裝置的制作和操作。背景技術已經(jīng)采用各種方法來制造微流體泵和閥。制造包括泵和閥的微機電(MEMQ結構的一種方法是基于硅的立體微加工(bulk micro-machining)技術。這是減法式制作方法， 其中單晶硅通過光刻來形成圖案，然后被蝕刻以形成三維...
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