技術(shù)編號(hào)：5052215
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型有關(guān)一種進(jìn)氣裝置，旨在提供一種尤適用于廢氣處理反應(yīng)爐的進(jìn)氣裝置。背景技術(shù)按，在半導(dǎo)體制程中所排出的廢氣(gas)中，因?yàn)楹形捶磻?yīng)的SiH2Cl2、SiHCl3、 Si2H6, TEOS(四乙氧基硅炕，tetraethoxysilane)等對(duì)人體或環(huán)境有害的Si化合物，以及 SiH4、PH3、B2H6等具有可燃性、爆炸性的氫化物。故必需利用大量氮?dú)庥枰韵♂?，使該排氣?度在爆炸下限以下，以及使用半導(dǎo)體排氣處理裝置，至少將有毒氣體的濃度降低至容許值...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。