技術(shù)編號(hào):5040871
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。硅粉過(guò)濾系統(tǒng)[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝中三氯氫硅合成設(shè)備,尤其是硅粉過(guò)濾系統(tǒng)。技術(shù)背景[0002]三氯氫硅合成是改良西門子工藝生產(chǎn)多晶硅的重要一環(huán),硅粉過(guò)濾系統(tǒng)是在原有三氯氫硅合成工藝上新增的子系統(tǒng),用于過(guò)濾合成產(chǎn)品氣的細(xì)小硅粉。此系統(tǒng)所處工況較苛刻,合成產(chǎn)品氣含有三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氫氣、氯化氫、細(xì)硅粉等,所以必須要求該過(guò)濾系統(tǒng)耐腐蝕及耐沖刷,這要求硅粉過(guò)濾系統(tǒng)使用的閥門、儀表等配套設(shè)施都要耐腐蝕及耐沖刷。耐腐蝕問(wèn)題易造成系統(tǒng)出...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。