技術編號：5037203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及到一種冷卻裝置，尤其涉及生產高純化學品的冷卻裝置。 背景技術高純化學品主要廣泛應用于超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示器、半導體等微電子工業(yè)等方面，用作清洗和蝕刻劑，其純度和潔凈度對電子元器件的產品率、電性能、可靠性有很大的影響。隨著我國微電子工業(yè)的高速發(fā)展，電子化學品的需求越來越大。韓國的Kim C U等人開發(fā)了一個冷卻結晶法生產高純化學品的技術。但該方法溫度過低，能耗高，生產條件苛刻，只能間歇性生產，沒有看見進一步生產報道 (KR20030...
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