技術編號：5030910
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及精密平臺，特別涉及其變溫運轉的對策。背景技術 以往，作為用來進行工件的加工及作業(yè)的載置面，采用具有表面被精確地平滑精加工的基準平面的平臺。在進行工件的加工時，將工件、工作臺、加工機主體載置在平臺的載置面上。此外，在進行工件的測量時，將工件、工作臺、測量機主體載置在平臺的載置面上。對于這樣的平臺，通常要求輕量、相對剛性高、溫度穩(wěn)定性好。為了應對這樣的要求，開發(fā)了各種平臺，以往有以下的平臺。以往，有利用使樹脂滲透到碳樹脂中而成形的碳纖維加強復合材料的...
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