技術(shù)編號(hào)：5029927
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在液體中產(chǎn)生等離子的等離子技術(shù)，更具體地涉及 在液體中產(chǎn)生高能等離子的方法和裝置，以及其中所用的電極。 技術(shù)背景作為采用等離子的蒸氣淀積技術(shù)，采用氣相等離子的蒸氣淀積 技術(shù)已經(jīng)按常規(guī)被廣泛采用。然而，在具有低材料密度的氣相等離 子中，反應(yīng)速度低。因此，需要在有高材料密度的液體中產(chǎn)生等離 子的技術(shù)。例如，國際^^布號(hào)02/038827的小冊(cè)子(文獻(xiàn)l)描述產(chǎn)生氣泡流 體的發(fā)明，氣泡含有要沉積在電解液中的材料來源，電解液中放有 一對(duì)隔開的電極，在氣泡...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。