技術(shù)編號：5029741
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于過濾除去空氣中的化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)過濾器，更詳細(xì)地說， 涉及用于過濾除去流入到半導(dǎo)體、精密電子部件、醫(yī)藥品及食品制造廠的清潔 室內(nèi)的氣相物質(zhì)，以及流入到一般產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的空調(diào)器及室內(nèi)空氣凈化器的空氣 中的有害氣體的含金屬化合物的吸附劑、以及采用該吸附劑的化學(xué)過濾器及其 制造方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體制造工序及精密產(chǎn)品或電子產(chǎn)品制造工序等， 一般在排除了污染物 質(zhì)的清潔室內(nèi)進(jìn)行，因此，該清潔室內(nèi)的污染程度是與被制造出來的產(chǎn)品的產(chǎn) 率直接相關(guān)的重要因素。而且，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。