技術(shù)編號(hào)：5027998
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在處理環(huán)境、例如半導(dǎo)體制造環(huán)境中用于管理化學(xué)品的方 法和系統(tǒng)。背景技術(shù)在各種工業(yè)中，化學(xué)輸送系統(tǒng)被用來向處理設(shè)備供應(yīng)化學(xué)品。示例工 業(yè)包括半導(dǎo)體工業(yè)、制藥工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)工業(yè)、食品加工業(yè)、家用產(chǎn)品工 業(yè)、個(gè)人護(hù)理產(chǎn)品工業(yè)、石油工業(yè)等。當(dāng)然是取決于所執(zhí)行的具體過程，化學(xué)品由給定的化學(xué)輸送系統(tǒng)輸送。 因此，向半導(dǎo)體處理設(shè)備供應(yīng)的具體的化學(xué)品取決于在設(shè)備中對(duì)晶片所執(zhí)行的工藝。示例的半導(dǎo)體工藝包括蝕刻、清洗、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP )和濕 沉積(例如化學(xué)氣相...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。