技術(shù)編號：5022056
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于凈化含粉末物的有害氣體的凈化柱和方法。具體涉及有利于凈化例如從半導(dǎo)體制造工藝中排放的含有粉末物質(zhì)的有害氣體的凈化柱和凈化方法，這種凈化柱和方法不會造成任何過大的壓力損失，同時又使得凈化操作和設(shè)備維修變得更為容易。背景技術(shù) 半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用了各種氣體，例如大量的氫化物氣體如砷化氫、磷化氫、硅烷、乙硼烷、硒化氫。因為這些氣體是有毒的，所以在例如半導(dǎo)體工藝中將含有這些氣體的氣體排放到空氣中之前需要凈化。從半導(dǎo)體工藝中排放的含有磷化氫的氣體包括大量作為...
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