技術(shù)編號(hào)：5021024
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體吸附性物質(zhì)、氣體吸附合金、以及含有該氣體吸附性 物質(zhì)和/或氣體吸附合金的氣體吸附材(以下統(tǒng)稱(chēng)為"氣體吸附性物質(zhì)等")。10背景技術(shù)氣體吸附性物質(zhì)等在真空保持、稀有氣體中的微量氣體的除去、熒光 燈中的氣體的除去等各種領(lǐng)域中被使用。在半導(dǎo)體制造工業(yè)中所使用的稀有氣體，期望除去稀有氣體中的氮、 碳?xì)浠衔铩? 一氧化碳、二氧化碳、氧、氫、水蒸氣等而凈化為高純度。 15特別是除去其中作為穩(wěn)定的分子的氮很困難。作為除去稀有氣體中的氮或碳?xì)浠衔锏鹊默F(xiàn)有...
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