技術(shù)編號：5019634
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。背景技術(shù)發(fā)明領域本發(fā)明涉及一種處理工業(yè)廢物流的系統(tǒng)，所述廢物流如半導體制造業(yè)、光電處理技術(shù)等過程中產(chǎn)生的廢氣。所述系統(tǒng)可以包括氧化裝置、氣體滌氣裝置、顆粒固體凈化裝置及其他用于廢氣處理的操作裝置。根據(jù)本發(fā)明的改進措施，可以用臭氧或其他含氧試劑提高廢物處理系統(tǒng)除去可氧化物質(zhì)的效率，所述可氧化物質(zhì)如鹵化物、鹵代烴、NOx、氫化物、SOx、NF3、及其他有機和無機化合物。在Delatech CDO中，熱處理系統(tǒng)包括一個電加熱管、該加熱管可任選地結(jié)合一種對廢氣流中...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。