技術(shù)編號:5016672
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于氣體制備,涉及混合氣體配氣裝置,特別涉及滲透式氣體配氣裝置。背景技術(shù) 滲透式氣體配氣裝置是一種動(dòng)態(tài)配氣裝置,在配制低含量氣體方面具有顯著優(yōu)點(diǎn),特別是對于低含量標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備尤為重要。依滲透方式的不同,恒溫滲透室的結(jié)構(gòu)有所區(qū)別,目前使用的滲透式配氣裝置一般分為內(nèi)滲式和外滲式兩種,均采用恒溫滲透工作方式,內(nèi)/外滲式配氣裝置基本結(jié)構(gòu)分別如附圖1和附圖2所示,包括本底載氣源1、流量控制器2、恒溫滲透室3、集氣裝置4以及將他們依次連接在一起形成密閉氣體通路...
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