技術(shù)編號：5016376
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濕式廢氣預(yù)處理裝置，更具體地說，涉及在濕環(huán)境下對來自半導(dǎo)體器件制造工藝過程中的廢氣進(jìn)行預(yù)處理的裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體器件制造工藝過程中，如在低壓化學(xué)蒸氣沉積法、等離子蝕刻法中產(chǎn)生的廢氣可能含有有毒的、腐蝕性的氣體，如硅烷SiH4、氯氣CL2、六氟化硫SF6等。因此，在這些制造過程中產(chǎn)生的廢氣被排放大氣之前必須經(jīng)過適當(dāng)?shù)奶幚怼Ｈ欢?，這些廢氣在被送入廢氣處理系統(tǒng)時(shí)，所述廢氣中包含的細(xì)粉會被逐漸吸附到處理系統(tǒng)地壁面或排放管上，經(jīng)常發(fā)生粉末阻塞，從...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。