技術(shù)編號：5015180
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及均化納米級粉末的方法和裝置。在化學方法中反應(yīng)參數(shù)的相對小的變化經(jīng)常不能完全避免。例如起始材料在它們的組成、反應(yīng)流程或反應(yīng)溫度方面可能改變，這能導(dǎo)致產(chǎn)品的變化，其依賴于生產(chǎn)周期的時間。這又能意味著產(chǎn)品的不同批次是不均勻的。對大多數(shù)應(yīng)用這些變化，其通常僅僅是非常小的變化，不起作用。如果需要，通過均化不同批次能獲得均勻產(chǎn)品。在使用納米級粉末的應(yīng)用中，例如半導(dǎo)體基片的化學—機械拋光，納米級粉末的產(chǎn)品質(zhì)量的甚至非常小的變化也導(dǎo)致拋光結(jié)果顯著的差異。與較粗的...
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