技術(shù)編號(hào)：5012150
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于微電子工業(yè)的高純化學(xué)品的制備方法和裝置，它們通過(guò)在超純水中溶解至少一種化學(xué)氣體而實(shí)現(xiàn)。為了制備超純化學(xué)品，例如氨水，鹽酸和氫氟酸，已知可以分別使用“工業(yè)”級(jí)無(wú)水氨氣，氯化氫氣體和氟化氫氣體并純化它們，尤其可在裝有用高純?nèi)ルx子水中的同樣氣體的飽和溶液的塔中清洗來(lái)除去金屬雜質(zhì)而使之純化。例如專(zhuān)利申請(qǐng)WO96／39265公開(kāi)了這類(lèi)技術(shù)。上述專(zhuān)利申請(qǐng)所述的技術(shù)已經(jīng)向前邁出了重要的一步，它們可用于允許生產(chǎn)更小集成電路的超純化學(xué)品的集成電路生產(chǎn)場(chǎng)地中...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。