技術(shù)編號(hào):5010889
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種液體分離裝置,更確切地說(shuō),涉及這樣一種裝置,該裝置包括易更換和易置換液體分離組件,所說(shuō)組件能與和其相配的連接裝置相嚙合并保持液體密封關(guān)系。多年來(lái)一直采用上述類型的液體分離裝置來(lái)控制工業(yè)過(guò)程中的雜質(zhì)。這種裝置是生產(chǎn)包括藥物、食品和飲料等多種產(chǎn)品時(shí)的重要組成部分。但是,目前最需要對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行有效控制的是半導(dǎo)體制造業(yè)。由于所涉及的范圍必然是亞微米范圍和更小的特征尺寸,所以控制半導(dǎo)體處理液中的粒子、離子、有機(jī)物和其它雜質(zhì)是非常必要的。而且,由于半導(dǎo)體裝...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。