技術(shù)編號：5005854
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)工藝，更具體地，本發(fā)明涉及一種氣體過濾裝置。背景技術(shù)我國現(xiàn)階段多晶硅項目工藝技術(shù)85%以上都屬于西門子工藝技術(shù)，該工藝過程中，有眾多系統(tǒng)需要進行氣體過濾。具體有四氯化娃氫化生產(chǎn)三氯氫娃系統(tǒng)、三氯氫娃合成系統(tǒng)、還原尾氣干法回收系統(tǒng)等。目前一般采用的過濾器均為布袋過濾器，而在生產(chǎn)過程中，發(fā)現(xiàn)布袋過濾器存在如下幾個缺點I、布袋過濾器耐高溫性能差。尤其是在三氯氫硅合成系統(tǒng)、以及四氯化硅氫化生產(chǎn)三氯氫硅系統(tǒng)中，發(fā)現(xiàn)布袋過濾器非常容易出現(xiàn)破損，導(dǎo)致...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。