技術(shù)編號：5004346
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種含氮氧化物和/或有機(jī)溶劑的凈化方法。更具體而言，本發(fā)明涉及一種凈化從半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中排放的所含氮氧化物和/或有機(jī)溶劑濃度很高且變化很大的廢氣的方法。背景技術(shù) 最近，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，分別具有高介電常數(shù)以及高階式覆蓋度的鉛鈦酸鹽鋯酸鹽(PZT)膜、鋇鍶鈦酸鹽(BST)膜、鉭酸鍶鉍(SBT)膜、鉭酸鋯酸籠式鉛(PLZT)膜等已經(jīng)作為基于氧化物的介電膜用于半導(dǎo)體記憶。作為介電膜的生產(chǎn)方法，將有機(jī)金屬成分的氣體和氧化氣體通入帶有基質(zhì)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備并化學(xué)...
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