技術(shù)編號(hào)：4997231
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是多晶硅生產(chǎn)尾氣回收工序中的。背景技術(shù)在多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中，尾氣回收工序的工藝流程主要包括冷凝單元、壓縮單元、 再生氣處理。吸收和脫吸單元包含吸附塔和脫吸塔，主要流程是利用液態(tài)氯硅烷經(jīng)氟利昂冷卻到-40°C 士5°C后，進(jìn)入吸收塔吸收氣體氯化氫成為富液，然后輸送到脫吸塔，經(jīng)再沸器加熱到125°C 士5°C，解吸出氯化氫氣體后氯硅烷(貧液)用泵打回吸收塔，構(gòu)成循環(huán)。在現(xiàn)有技術(shù)中(美國CDI公司設(shè)計(jì))，氯化氫在脫吸單元中解吸出來，通...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。