技術編號：4974295
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。用于從廢氣流中除去至少一種氫硫屬元素化合物的方法和設備 本發(fā)明的主題是用于從輸入氣流中除去至少一種在標準條件下為氣態(tài)的氫硫屬 元素化合物(hydrogen chalcogen compound)的方法和設備。本發(fā)明的優(yōu)選使用領域為用 于凈化晶片和/或半導體生產如太陽能電池生產中的廢氣或產物氣體。 在生產晶片，尤其是在生產太陽能模塊時，通常將產物氣體如例如硫化氫(H2S)或 硒化氫(H2Se)用作向晶片底物提供施主離子的產物氣體。這樣的生產產地的廢氣包含必...
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