技術(shù)編號：4924955
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)中還原尾氣回收領(lǐng)域，現(xiàn)有的分離裝置是由多個不同溫度的換熱器分散式水平分布組成，造成能耗高，冷量得不到充分回收利用，為此本發(fā)明提供了一種立體組合式的分離裝置，將還原尾氣集液器、循環(huán)水換熱器、氣氣換熱器、氟利昂換熱器從下往上依次連接，并在各換熱器間及頂部設(shè)有還原尾氣再分布器及除沫器，整個裝置呈塔式結(jié)構(gòu)，在還原尾氣集液器側(cè)面裝有還原尾氣進口，在其底部裝有分離出的氯硅烷液體出口，本發(fā)明具有節(jié)約能量消耗，節(jié)約基礎(chǔ)建造成本，設(shè)備檢修方便，分離效果高...
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