技術(shù)編號(hào)：4923277
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種防止MOCVD生產(chǎn)氮化鎵的氨氣回收膜組件堵塞的裝置，包括前置組件、預(yù)處理組件及氨氣吸收組件，氨氣吸收組件包括膜組件、氨水儲(chǔ)罐、換熱器一、循環(huán)泵一、吸收劑入口和吸收劑出口，所述膜組件設(shè)有進(jìn)氣口、出氣口、進(jìn)水口及出水口，預(yù)處理組件包括氣液傳質(zhì)設(shè)備、堿性水罐、循環(huán)泵二及換熱器二?；旌蠚膺M(jìn)入氨氣回收膜組件之前先經(jīng)過氣液傳質(zhì)設(shè)備，以吸收與水或堿接觸生成堵塞膜組件的微溶于水或難溶于水物質(zhì)的氣體雜質(zhì)，再經(jīng)過換熱器換熱升溫變成未飽和的濕混合氣，以防止飽和或...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。