技術(shù)編號：4922176
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種硅晶圓線切割液回收過程中失效離子交換樹脂再利用方法，屬于硅晶圓線切割領(lǐng)域，主要包括1）水沖洗；2）酸液浸泡；3）混合試劑浸泡；4）氧化劑浸泡；5）水養(yǎng)備用這五個步驟；解決了硅晶圓線切割液回收行業(yè)樹脂失效后難復蘇等問題。本發(fā)明引進的強氧化劑NaClO將雜質(zhì)中大分子有機物氧化成小分子有機物，在高速攪拌的情況下，使其更容易與樹脂分離。由于接觸時間短，溫度控制合理，對樹脂的本體及交換基團無損壞。本發(fā)明針對由金屬離子、可溶性金屬絡(luò)合物、可溶性硅化物、有機物等引起...
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