技術(shù)編號：4920444
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于借助加熱到高溫的硅棒上含硅化合物的熱分解來制造硅的反應(yīng)器，該反應(yīng)器包括反應(yīng)器底部和安裝在所述反應(yīng)器底部上的反應(yīng)器上部，所述反應(yīng)器底部和所述反應(yīng)器上部共同圍成反應(yīng)器內(nèi)腔，在所述反應(yīng)器內(nèi)腔中進(jìn)行所述熱分解，其中所述反應(yīng)器底部具有支架，在所述支架中固定了所述硅棒。所述反應(yīng)器的特征在于，所述支架在所述反應(yīng)器底部上形成由六邊形構(gòu)成的圖案，并且/或者所述反應(yīng)器內(nèi)腔被套狀的分隔壁劃分為兩個子區(qū)域其中布置有硅棒的、中心的、優(yōu)選柱狀的內(nèi)部區(qū)域以及沿徑向包圍...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。