技術(shù)編號：4902017
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體清洗，特別涉及一種化學(xué)液混合裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備中，針對化學(xué)液回收的情況，在工藝過程中，有一部分化學(xué)液不經(jīng)過工藝腔室而直接回到儲液罐中，另一部分化學(xué)液做完工藝之后需要回收到儲液罐中，而不是直接排掉。當(dāng)化學(xué)液到達(dá)一定的壽命時間之后，就把化學(xué)液整體排掉，然后再重新補充新鮮的化學(xué)液，對化學(xué)液進(jìn)行溫度處理和循環(huán)之后再開始下一輪的工藝過程。針對回收后的化學(xué)液粘度相對工藝之前有所增加，為了確保在一定的時間內(nèi)正常完成工藝，需要在工藝過程...
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