技術(shù)編號：4896045
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。廢氣處理系統(tǒng)[0001]本實(shí)用新型與廢氣處理系統(tǒng)有關(guān)，特別有關(guān)于一種整合蓄熱式觸媒焚化法及選擇 性觸媒還原法的廢氣處理系統(tǒng)。背景技術(shù)[0002]半導(dǎo)體及光電產(chǎn)業(yè)制程多見含有氮化合物，如NMP、DMF、TMAH、MEA等，這些含氮 物質(zhì)隨著其它揮發(fā)性有機(jī)物(volatile organic compounds, VOCs),—起經(jīng)由污染防制廢 氣處理后排放，而高科技產(chǎn)業(yè)對于揮發(fā)性有機(jī)物管末處理，現(xiàn)行以沸石轉(zhuǎn)輪搭配焚化處理 為具有效益的方式。[0003]不過最...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。