技術(shù)編號(hào)：4892768
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及ー種冷氫化尾氣脫除三氯化鋁重金屬雜質(zhì)的成套裝置，利用淋洗裝置脫除冷氫化尾氣中的三氯化鋁等重金屬雜質(zhì)。背景技術(shù)在多晶硅生產(chǎn)中，冷氫化工藝是以四氯化硅(STC)，氫氣(H2)，硅粉(SI)為原料，在一定溫度和壓カ下，通過反應(yīng)轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的一種技術(shù)，憑借能耗低，設(shè)備運(yùn)行可靠的優(yōu)勢(shì)，冷氫化工藝已取代傳統(tǒng)的熱氫化技術(shù)，成為多晶硅生產(chǎn)行業(yè)趨勢(shì)。 冷氫化工藝中，主要的重金屬雜質(zhì)為三氯化鋁，一般由原料硅粉引入，經(jīng)反應(yīng)后生成。該雜質(zhì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。