技術(shù)編號(hào):4816030
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及電子行業(yè)生產(chǎn)工藝用水領(lǐng)域,具體涉及一種制備電子級(jí)超純水的設(shè)備。背景技術(shù)集成電路的生產(chǎn),幾乎每道工序需要超純水進(jìn)行清洗,工件與水直接接觸,一方面芯片在加工過(guò)程中的微量玷污得到清洗,而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染,無(wú)疑對(duì)產(chǎn)品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進(jìn)一步提高,對(duì)水中污染物要求亦更為嚴(yán)格。目前國(guó)內(nèi)大多數(shù)電子行業(yè)用超純水系統(tǒng)由國(guó)外公司提供,而由國(guó)內(nèi)公司提供的系統(tǒng)無(wú)法達(dá)到電子級(jí)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),同時(shí),由于國(guó)外公司不清楚國(guó)內(nèi)各個(gè)區(qū)域原水水...
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