技術編號：4799551
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，更具體地，涉及一種可回收循環(huán)利 用尾氣中的氯化氫的改進的。背景技術多晶硅是制備單晶硅的原料，最終用于生產(chǎn)集成電路和電子器件，是 信息產(chǎn)業(yè)用量最大、純度要求最高的基礎原料之一，也是國家重點鼓勵發(fā) 展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)。世界先進的多晶硅生產(chǎn)技術一直由美、日、德三國的公司壟斷著，各 個公司都有各自的技術秘密和技術特點，經(jīng)過不斷的研究、開發(fā)，形成了 各自的生產(chǎn)工藝，并從各自國家戰(zhàn)略角度出發(fā)，嚴格控制技術轉讓并壟斷 全球多晶硅市場。我國多晶硅工業(yè)起步于五十...
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