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用于熱調(diào)節(jié)光刻設(shè)備的部份的熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)和熱調(diào)節(jié)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4793862

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本發(fā)明涉及一種用于熱調(diào)節(jié)光刻設(shè)備的部份的熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)以及相應(yīng)的熱調(diào)節(jié)方法。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上,通常是襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。例如,可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造中。在這種情況下,可以將可選地稱為掩模或掩模版的圖案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案。可以將該圖案轉(zhuǎn)移到襯底(例如,硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如,包括一部分管芯、一個(gè)或多個(gè)管芯)上。所述圖案的轉(zhuǎn)移通常是通過(guò)將圖案成像到提供到襯底上的輻射敏感材料(抗蝕...
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