技術(shù)編號:4718286
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種燒結(jié)爐,更具體而言,涉及一種在其中燒結(jié)坯塊(compact)的燒結(jié)爐。背景技術(shù)通常,用于諸如液晶顯示器(IXD)、等離子顯示器(PDP)或電致發(fā)光顯示器(ELD)的平板顯示器的電極材料或用于光伏電池的透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜由氧化銦錫(ITO)、氧化錫(SnO2)、氧化鋅(ZnO)等制成。特別地,ITO薄膜被廣泛用于平板顯示裝置的透明電極、用于光伏電池的電極和用于防止靜電的導(dǎo)電薄膜,這是因為其具有優(yōu)良的特性,例如,透明性、導(dǎo)電性、對基板的...
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