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技術(shù)編號：4717826

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本發(fā)明系針對爐輸送機(jī)系統(tǒng)，且更重要地是針對尤其適用于諸如硅晶圓的薄工件在輸送帶上轉(zhuǎn)移穿過用于將該等晶圓轉(zhuǎn)化成太陽能電池的處理設(shè)備的并排雙獨立驅(qū)動運(yùn)輸系統(tǒng)，該處理設(shè)備包括UV預(yù)處理器、摻雜器、干燥器、擴(kuò)散爐及金屬化爐。本發(fā)明運(yùn)輸系統(tǒng)可使用廣泛范圍的輸送帶，包括具有浮橋式晶圓支撐系統(tǒng)的金屬絲網(wǎng)帶，該金屬絲網(wǎng)帶包含縱向隔開的承載器金屬絲“側(cè)翼”元件，該等承載器金屬絲“側(cè)翼”元件在晶圓的側(cè)邊緣處藉助于相對的內(nèi)傾下斜晶圓支撐區(qū)段而僅以點接觸來支撐該等晶圓。背景技術(shù)自...
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