技術(shù)編號(hào):4714206
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片制造,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積板式PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )設(shè)備專用電加熱器,尤其是一種新型電加熱器。背景技術(shù)板式PECVD設(shè)備是當(dāng)前太陽(yáng)能電池片制造工藝中主要高效成膜設(shè)備。為了獲得均勻的、致密的、高質(zhì)量的膜層,真空腔內(nèi)裝有電加熱器,并保持真空腔內(nèi)溫度的穩(wěn)定性和均勻性。目前,現(xiàn)有的電加熱器是采用不銹鋼鎧裝電加熱管,電發(fā)熱管(發(fā)熱體)與真空腔內(nèi)的工藝氣體直通。...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。