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技術(shù)編號：4673761

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本發(fā)明的實(shí)施例一般涉及半導(dǎo)體基片的批量加工。更具體地，本發(fā)明的實(shí) 施例涉及用于在批量加工反應(yīng)爐內(nèi)有效且均勻地傳輸一種或幾種加工氣體的 方法和裝置。背景技術(shù)術(shù)語批量加工一般是指在一個(gè)反應(yīng)爐內(nèi)兩個(gè)或多個(gè)基片的同時(shí)加工?；?的批量加工存在幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)。通過執(zhí)行與基片加工工序中其它工藝配方步驟相比 不成比例的長的工藝配方步驟，批量加工可以增加基片加工系統(tǒng)的生產(chǎn)能力。對于較長配方步驟，批量加工的使用有效降低單位基片加工時(shí)間。在諸如ALD 和CVD的使用昂貴前體氣體的某...
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• 吳老師：1.新型干燥與脫水技術(shù) 2.能源與環(huán)境技術(shù) 3.傳熱過程強(qiáng)化與仿真 具體研究領(lǐng)域：脈動(dòng)燃燒及其工業(yè)應(yīng)用，褐煤/煉焦煤過熱蒸汽煤調(diào)濕技術(shù)，污泥干化及焚燒，糧食和果蔬節(jié)能優(yōu)質(zhì)干燥
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