技術(shù)編號：4672284
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)多晶硅的還原爐，尤其是涉及一種快開式、水冷 結(jié)構(gòu)的多晶硅還原爐。屬多晶硅制備。 背景技術(shù)多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接材料。高純度多晶硅是光電轉(zhuǎn)換電池、集 成電路等半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料。隨著世界半導(dǎo)體工業(yè)的迅猛發(fā)展、超大 規(guī)格集成電路的大量應(yīng)用、光伏電池的大量需求，整個世界對多晶硅的需 求量在大幅增加。生產(chǎn)多晶硅的方法有多種，氫還原法是最常見的一種方法。該方法是 把提純的硅鹵化物和凈化好的氫氣作為原料通入還原爐，在高溫環(huán)境中， 硅鹵化物與氫氣發(fā)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。