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技術(shù)編號(hào)：4617732

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本實(shí)用新型涉及一種帶溫度調(diào)節(jié)的FFU(風(fēng)機(jī)過濾潔凈單元)，進(jìn)一步是指半導(dǎo)體或太陽能電池制造所需凈化間或無塵室制造領(lǐng)域中的FFU(風(fēng)機(jī)過濾潔凈單元)。背景技術(shù)FFU為英文縮寫，全稱為Fan Filter Units,中文意思為“風(fēng)機(jī)濾器單元(機(jī)組)”。 一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置，F(xiàn)FU可模塊化連接使用，使得FFU 廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺(tái)、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級(jí)等應(yīng)用場合。FFU設(shè)有初、高效兩級(jí)過濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部...
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