技術(shù)編號：4602821
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及為了處理半導(dǎo)體基板、平板顯示器用基板等被處理體而加熱液體的液體加熱單元、具有該液體加熱單元的液處理裝置、液處理方法。背景技術(shù)在制造半導(dǎo)體器件、平板顯示器等時，適當(dāng)?shù)剡M行清洗上述的制造所使用的基板的工序。在清洗工序中，向基板噴射清洗液，從而利用該清洗液沖洗被附著在基板上的殘留物等。為了提高清洗效果，也經(jīng)常加熱清洗液，從而為了該加熱而利用液體加熱用的加熱單元(例如專利文獻1)。專利文獻1所記載的溶液加熱裝置包括燈加熱器，其能夠放射加熱溶液，例如水銀燈...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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