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技術(shù)編號：4585768

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本實用新型涉及一種用于化學反應腔室的石英管爐，特別涉及一種石英管爐的開口端密封結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)石英管爐(Quartz Tube Furnace)具有耐高溫，化學性質(zhì)穩(wěn)定，使用壽命長等優(yōu)點，所以，其用途廣泛，例如常用于化學氣相沉積系統(tǒng)(Chemical VaporDeposition，CVD)，氣相外延生長系統(tǒng)，電漿沉積系統(tǒng)等領(lǐng)域。可以說，石英管爐是高溫化學反應系統(tǒng)的關(guān)鍵設備之一。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的化學氣相沉積系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。該系統(tǒng)主要包括高溫加熱爐10，石英...
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