技術(shù)編號：4525566
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及調(diào)溫裝置等中用的熱交換裝置，該調(diào)溫裝置，在半導(dǎo)體相關(guān)制造裝置等中，通過冷卻或加熱流過管子等流路的腐蝕性流體(例如顯影液、光致抗蝕劑等的不希望金屬離子流入的液體)，實(shí)現(xiàn)溫度調(diào)節(jié)?，F(xiàn)有技術(shù)中，對腐蝕性流體進(jìn)行調(diào)溫的裝置，如附圖說明圖10所示，有采用珀?duì)柼?ペルチェ素子)的形式。圖10所示調(diào)溫裝置中，把作為熱模塊的珀?duì)柼?1密接固定在熱容量大的熱交換塊42的表面，該熱交換塊42與流經(jīng)管路44的腐蝕性流體進(jìn)行熱交換。在該珀?duì)柼?1的與熱交換塊...
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