技術(shù)編號：4520524
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，所述熱交換板在其內(nèi)部 具有冷卻介質(zhì)或者加熱介質(zhì)通過的流路。背景技術(shù)作為在內(nèi)部具有冷卻介質(zhì)或者加熱介質(zhì)通過的流路的熱交換板， 例如具有用于在液晶制造裝置的濺射工序中保持靶材的襯板。(例如日本專利第3818084號公報(bào))然而，在上述日本專利第3818084號公報(bào)公開的發(fā)明中，需要精 確地制造嵌入第二槽內(nèi)并堵塞(覆蓋)作為流路(冷卻介質(zhì)的通路) 的第一槽上方的蓋。因此，作為流路的俯視形狀，存在如下的問題 只能采用比較簡單的形狀(U字形、I字形、S...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。