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并行掃描激光預(yù)處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4474760

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本實(shí)用新型公開了一種并行掃描激光預(yù)處理裝置,屬于光學(xué)。它包括沿激光傳輸方向設(shè)置的激光光源、機(jī)械快門、能量衰減器、光束匯聚系統(tǒng)、分光劈板和合束鏡,還包括光束輪廓儀、激光能量計(jì)、信標(biāo)光源和電動(dòng)位移臺(tái);光學(xué)元件置于電動(dòng)位移臺(tái)上;裝置與光學(xué)元件之間設(shè)有傾斜鏡陣列,光學(xué)元件前設(shè)置有檢測(cè)相機(jī)。本實(shí)用新型在重復(fù)利用激光能量提高預(yù)處理效率的同時(shí),解決了損傷導(dǎo)致的反射輻照不均勻問題,可高速有效提升大口徑光學(xué)元件激光損傷閾值。專利說明并行掃描激光預(yù)處理裝置[0001]本實(shí)用新...
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