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并行掃描激光預(yù)處理裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4470282

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本發(fā)明公開了一種,屬于光學(xué)。裝置包括沿激光傳輸方向設(shè)置的激光光源、機械快門、能量衰減器、光束匯聚系統(tǒng)、分光劈板和合束鏡,還包括光束輪廓儀、激光能量計、信標(biāo)光源和電動位移臺;光學(xué)元件置于電動位移臺上;裝置與光學(xué)元件之間設(shè)有傾斜鏡陣列,光學(xué)元件前設(shè)置有檢測相機。本發(fā)明在重復(fù)利用激光能量提高預(yù)處理效率的同時,解決了損傷導(dǎo)致的反射輻照不均勻問題,可高速有效提升大口徑光學(xué)元件激光損傷閾值。專利說明[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)元件處理裝置及方法,尤其是其激光預(yù)處理,屬于...
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