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低溫等離子體處理裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4429489

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本發(fā)明涉及用于改變各種類型塑料薄膜(下文簡稱為薄膜)的表面性能的低溫等離子體處理裝置。背景技術(shù) 到現(xiàn)在為止公知的是,借助薄膜表面的低溫等離子體處理,表面的可潤濕性能夠得到改進,粘合劑等的可涂覆性能夠得到改進,以及薄膜和粘合劑之間的粘附性能夠得到增強。通常,薄膜是借助連續(xù)型設(shè)備制造以及纏繞成卷材,因此成卷薄膜的表面使用低溫等離子體處理最好借助連續(xù)型裝置進行。因此,使用低溫等離子體的薄膜表面處理如圖3所示進行,這時使用的方法是放置等離子體處理裝置在真空容器16...
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