技術編號：4423647
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光纖的制備，更具體地說，涉及在使用MVCD(改進的化學氣相沉積法)制備光纖預型體的過程中防止水分或氫進入石英管的設備。背景技術 圖1所示為用于制備光纖預型體的傳統(tǒng)MCVD設備。將高純度石英管1固定在車床上時，將鼓泡器(bubbler)系統(tǒng)5所生成的諸如SiCl4、GeCl4或O2的混合反應氣通過進氣口2輸送到石英管1中。此時，使石英管1均勻旋轉并通過氧-氫噴燈加熱其外壁。通過下述的反應式1和2，流入石英管1的反應氣體在石英管1的內壁上形成二氧化硅...
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