技術編號：4386204
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種阻擋膜形成用內部電極以及成膜裝置，例如用于在樹脂等的容器等中形成具有氣障性的阻擋膜。背景技術 近年來，作為塑料容器之一，例如PET瓶，為了防止從外部的氧的透過，從內部(例如碳酸飲料)的二氧化碳的透過，嘗試在其內表面涂布例如DLC(類金剛石)等的硬質的碳膜，提出各種成膜裝置(專利文獻1、2、3)。在此，作為在使用高頻等離子體CVD的塑料容器中形成碳膜的裝置，參照圖9說明在容器的內部進行涂布的、作為基礎發(fā)明的上述專利文獻3所述的裝置。圖9所示的成...
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