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一種前后電極石墨舟及化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):43847

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專利摘要本實(shí)用新型公開了一種前后電極石墨舟,包括由均勻間隔設(shè)置的奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片構(gòu)成的舟體,奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片通過(guò)石墨棒串接,舟體的前端底部設(shè)有至少一個(gè)前導(dǎo)電石墨塊,舟體的后端底部設(shè)有至少一個(gè)后導(dǎo)電石墨塊。本實(shí)用新型還提出了一種使用上述前后電極石墨舟的化學(xué)氣相沉積設(shè)備。本實(shí)用新型在舟體的前后兩端分別設(shè)有導(dǎo)電石墨,正負(fù)電極桿通過(guò)與導(dǎo)電石墨接觸,從舟體的前后兩端引入正負(fù)極,使舟體產(chǎn)生的電場(chǎng)均勻。專利說(shuō)明一種前后電極石墨舟及化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及光伏電池加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種...
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