技術(shù)編號：4342357
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通過使負(fù)壓和正壓作用在保持對象物的不同區(qū)域，從而在保持對象和保持面不接觸的狀態(tài)下對保持對象物進(jìn)行保持的非接觸保持體及非接觸保持柄。背景技術(shù)以往，如專利文獻(xiàn)1所示，已知一種在液晶基板或半導(dǎo)體晶片等工件與保持部不接觸的狀態(tài)下對工件進(jìn)行保持的非接觸保持體。利用氣體回旋流的非接觸保持體，一般由與工件相面對的一端面構(gòu)成保持面的筒體構(gòu)成。而且，通過在筒內(nèi)形成的氣體回旋流從設(shè)在保持面的開口向工件和保持面之間流出，從而在設(shè)于保持面的開口的中心部分形成由回旋流形成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。