技術(shù)編號(hào):4339414
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于一種真空室或者真空容器的法蘭連接結(jié)構(gòu),具體涉及一種嵌入式真空 法蘭連接結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著真空技術(shù)在新能源、新材料、空間、生物以及其他科學(xué)的廣泛應(yīng)用, 真空室或者真空容器的結(jié)構(gòu)往往比較復(fù)雜,接口繁多。例如,經(jīng)常需要安裝一些粒子探測 設(shè)備、離子發(fā)射設(shè)備和電子束發(fā)射設(shè)備等,這類設(shè)備對連接接口的位置角度等有著較為苛 刻的要求。在真空技術(shù)中通用的連接接口都是外接式的,如固定式真空法蘭、活套式真空法 蘭、真空快卸法蘭和卡鉗式真空法蘭等;密封方式有橡膠圈密封、...
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